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港岛73:我爹搞社团我搞黑科技 第858章 即将流片

    三天后,清晨。

    坤甸新城军用机场,跑道尽头的灯带还亮着。

    湾流的轮胎碾上水泥道面,颠簸两下,缓缓滑稳。

    舱门打开。周文远第一个走下舷梯,脚踩上地面的那一刻,腿一软,差点跪下。

    妻子扶着女儿跟在后面,六岁的小姑娘睡眼惺忪,怀里还抱着阿文给她买的布偶。

    跑道边上,林超站在一排黑色轿车前,身后是顾应湘和两队全副武装的龙盾队员。

    “周工,科赫先生。”林超迎上去,伸手。

    “路上受惊了。”

    周文远握住那只手,半天说出一句囫囵话。

    “林老板,机场那天……我以为这辈子就交代在里头了。”

    “在婆罗洲,没人能动你们。”

    林超松开手,朝身后示意。

    “先去看看你们的新家。”

    车队开出机场,穿过城区,开进一片封闭式社区。

    红瓦白墙的独栋别墅沿路排开,每家带泳池和车库,草坪修得能照出人影。

    社区门口,武装岗哨、电网、登记岗亭一应俱全。

    围墙两米多高,每隔五十米一座哨塔。

    车停在一栋别墅前。顾应湘递上钥匙。

    “周工,这栋是你家的。家具家电齐全,冰箱里塞满了,佣人下午到位。孩子上学的事,国际学校下周一就能报到。”

    周文远站在自家门前的草坪上,看着这一切,眼圈红了。

    科赫站在旁边,这个德国汉子对着林超,深深弯下腰。

    “林先生。

    从今天起,我们的家就在这里了。”

    ……

    一周后。

    城东,花岗岩山体。

    十几辆集装箱卡车,在夜色里一辆接一辆驶进坑道口。

    箱子里装的,是从西德、日本、美国分批采购、拆了包装、打着“农机配件”和“纺织机械”名义混过十几道海关的高精尖散件。

    光学镜片、精密导轨、真空泵、扩散炉的炉管。

    矿道深处,主洞室已经完工。十八米净高,四壁喷浆衬砌,头顶的恒温恒湿风管嗡嗡作响。

    洞室门口,顾应湘递给林超一套白色无尘服,连体式,只露出两只眼睛。

    “老板,按您的图纸建的。进去前得过三道风淋。”

    两人换上无尘服,穿过风淋通道。

    强风从四壁的喷嘴打在身上,吹走每一粒浮尘。

    最后一道门向两侧滑开。

    数千平米的无尘车间里,恒温二十度,头顶的黄色安全灯连成一片。

    崭新的光刻机机架已经立起来,周文远和科赫穿着同样的无尘服,正趴在机架旁校准导轨,几十名年轻学员围在外圈,人手一个笔记本。

    机器运转的低鸣声在洞室里回荡。

    两个月时间,花岗岩山体内部彻底换了模样。

    主洞室的正中央,一台光刻机完成总装。机身三米多长,导轨在黄色安全灯下泛着冷光。

    科赫趴在机台侧面,耳朵贴着机壳,听主轴转动的声音。

    “好了。”他直起身,用德语说了句什么,又换成英语。

    “比蔡斯原厂的数据还好。”

    周文远站在对准系统的控制台前,双手反复校准着物镜组。

    这套东西他在仙同做了十一年,图纸看过无数,真正从头到尾造一台出来,还是头一回。

    离子注入机、扩散炉、清洗台,一台台设备沿着洞室两侧排开。两百多名华人高材生分成十几个小组,围着各自的岗位。

    这些人三个月前还在香江的课堂上啃课本,如今手上已经磨出了茧子。

    顾应湘拿着一张设备验收单,挨个签字。

    签到最后一个名字,他的笔尖在纸上停了几秒。

    十亿美金。

    一座藏在山肚子里的晶圆厂,成了。

    ……

    半年后的一个深夜。

    材料区的单晶炉前围了一圈人。

    炉体是乌·索万纳带人用林超在空间设计的图纸建造的。

    石英坩埚里高纯度硅料被熔成暗红色的液体。

    原料用的是西加里曼丹矿区的石英砂。

    二氧化硅含量九十九点九以上,经过多次提纯,纯度逼近了半导体级的门槛。

    “拉速稳住。”周文远盯着仪表。

    “每分钟两毫米,不能快。”

    籽晶缓缓下探,接触液面,然后以肉眼难辨的速度向上提拉。

    一小时。两小时。五小时。

    天边泛起鱼肚白的时候,炉体冷却舱打开。

    一根手臂粗细的银灰色晶棒躺在支架上,表面流转着镜面一样的光泽。

    单晶硅棒。

    洞室里先是一阵安静,随后欢呼声四起。

    几个年轻学员把手里的记录本抛上半空,纸张哗哗地落。

    有人当场就哭了,蹲在设备旁边抹眼睛。

    从砂子到晶棒,这是半导体最难的第一关。

    全世界的技术封锁,卡的就是这种东西。

    如今婆罗洲自己的矿山、自己的炉子、自己的人,把它拉出来了。

    顾应湘挤开人群走过去,伸手摸那根晶棒。

    指尖碰到冰凉的硅面,他的手一直在抖。

    这个在汽车行业摸爬滚打半辈子的老工程师,眼眶红了。

    “真成了。”

    林超看着那根晶棒,松了口气。

    “顾总。

    准备流片。”

    ……

    三天后,流片试生产的各项准备全部就绪。

    晶棒切片很顺利。

    几十片薄薄的晶圆码放在专用卡匣里,镜面一样的表面映着灯光。

    抛光、清洗、烘干,每一道工序都反复核验。

    无尘车间里,所有人换上连体无尘服,只露两只眼睛。

    顾应湘站在主控台前,手里拿着工序总表,一项一项地念。

    “扩散炉预热完成。”

    “光刻机物镜组校准完成,套刻误差零点三微米。”

    “清洗线就绪。”

    “蚀刻线就绪。”

    每报一项,顾应湘就在表上打一个勾。

    打到最后第二项,他的笔停了。

    “特种气体库存?”

    材料组的小组长翻开台账。

    “高纯硅烷剩四罐,磷烷两罐,掺杂气体各一罐。

    老板从西德绕道买来的那批,撑得住三次流片。”

    “三次。”顾应湘合上表。

    “够了。第一次流片定在后天上午八点。”

    车间里的气氛绷到了顶点。

    半年多,几万人围着这个项目转,成败就看这一炉。

    当天深夜,林超留在洞室办公室没走。

    他把流片工艺的每一道工序卡又过了一遍,确认没有纰漏,才靠在椅背上闭眼休息。

    凌晨三点,桌上的电话响了。

    “老板,出问题了。”